Оборудование
Список оборудования
1. Аналитическое оборудование
1.1 Сканирующий зондовый микроскоп SmartSPM.
1.2 СЗМ с конфокальным рамановским и флюоресцентным спектрометром OmegaScope.
1.3 ИК-Фурье спектрометр Nicolet iS50.
1.4 Сканирующий электронный микроскоп JEOL 6610LV.
1.5 Рентгеновский порошковый дифрактометр GBC EMMA.
1.6 Дифрактометр малоуглового рентгеновского рассеяния.
1.7 Спектрофотометр CФ-2000.
1.8 Машина трения МТУ-01.
1.9 Весы аналитические Qhaus Instruments Co: Ltd.
1.10 Голографический микроскоп Lyncee tec.
1.11 Универсальный двухканальный спектральный эллипсометр ES-2LED.
1.12 Четырехзондовый метод измерения сопротивлений для АСМ.
2. Электроизмерительное оборудование
2.1 Осцилографы Tektronix 1001A и 2022C.
2.2 LCR метр LCR – 7821.
2.3 Генератор SFG-2110.
2.4 Блоки питания (GWINSTEK GPS-2303) 2х36В, 300В.
2.5 Пикоамперметр Keithley 6487.
3. Технологическое оборудование
3.1 Система Ленгмюра-Блоджетт.
3.2 Установка магнетронного напыления МВУ ТМ Магна.
3.3 Установка по синтезу углеродных нанотрубок.
4. Оборудование для пробоподготовки
4.1 Нанесение токопроводящих покрытий JEOL JFC-1600.
4.2 Полуавтоматический однодисковый шлифовально-полировальный станок Buehler Vector LC.
4.3 Центрифуга MiniSpin plus, Eppendorf.
4.3 Ванна ультразвуковая QUICK 218-35.
4.4 Ультразвуковой технологический диспергатор "Волна" УЗТА -0.4/22-ОМ.
4.5 Пресс лабораторный гидравлический ПГР-10.
4.6 Станок токарный малогабаритный Калибр СТМ-250.
4.7 Фрезерно-сверлильный станок JET JMD 1JE50000020M.
Установка магнетронного напыления МВУ ТМ Магна Т
МВУ ТМ Магна Т
МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ.
НАЗНАЧЕНИЕ: Нанесение плёнок металлов (Cu, Cr, Al, др.) и диэлектриков (SiO2 ,Si3N4, др.) методом магнетронного распыления. ОСОБЕННОСТИ
Атомно-силовые изображения поверхностей пленок из: Cr и Ni при 500°С; а также Cu при 320°С |
Доступ к оборудованию
- Центр коллективного пользования (ЦКП) осуществляет прием от заинтересованных пользователей заявок на проведение научных исследований и оказание услуг с использованием оборудования ЦКП (далее - заявки). Форма заявки находится на портале Регионального центра нанотехнологий (далее РЦН) в разделе «Оборудование» - «Заказ исследований». Заявка должна содержать в том числе: информацию о заявителе (Ф.И.О., организация, структурное подразделение, электронный адрес, телефон); описание работ (описание исследования, необходимое оборудование, количество образцов).
- Перечень типовых услуг ЦКП, используемое оборудование, примерный шаблон договора на проведение научных исследований и оказание услуг, форма заявки публикуются на официальном сайте РЦН www.nano.kursk.ru.
- Прием, регистрацию, обработку, хранение заявок, результаты их рассмотрения и выполнения рекомендуется осуществлять в электронном виде с использованием автоматизированных систем, позволяющих учитывать временную загрузку объектов приборной базы, задействованных в оказании услуг.
- Заявки рассматриваются директором РЦН по мере их поступления в течение установленного периода времени с момента регистрации заявки (5-10 дней) либо с установленной периодичностью (1 раз в 2 недели, 1 раз в месяц и др.).
- РЦН вправе устанавливать порядок рассмотрения заявок, включая содержательную часть работы, степень соответствия заявки возможностям оборудования ЦКП, времени работы оборудования. По результатам рассмотрения заявок директор РЦН принимает решение о возможности заключения с пользователем договора на проведение научных работ и оказание услуги и включает заявку в план работ РЦН. Решение о невозможности заключения договора должно быть мотивированным и доведено до сведения пользователя не позднее трех дней со дня принятия такого решения. Возможность допуска физических лиц - представителей заинтересованного пользователя непосредственно к работе на оборудовании РЦН устанавливается в договоре на оказание услуги.
- По завершению оказания услуги внешнему пользователю выдается соответствующий документ, содержащий результаты выполненных работ (отчет, протокол испытаний, измерений, материалы на электронных носителях).
- Оплата услуг для внешних пользователей осуществляется через заключение договора на предоставление услуг или выполнения исследований. Оплата услуг для структурных подразделений Юго-Западного государственного университета осуществляется на основе взаимной договоренности с использованием различных форм внутреннего хозрасчета.
Сканирующий электронный микроскоп JEOL 6610LV
Модель и назначение
JEOL JSM-6610 - компактный многоцелевой РЭМ с предельной простотой управления и высоким качеством оптики. Данный микроскоп создан для удовлетворения запросов как самых взыскательных исследователей, так и инженеров, использующих сканирующий электронный микроскоп в качестве средства контроля. Все возможности инструмента доступны даже начинающим пользователям. Интуитивно понятный интерфейс. Все операции по управлению микроскопом могут выполняться с помощью мышки и дополнительного выносного пульта. Многопользовательская система. С помощью новой системы сканирования можно работать на очень малых увеличениях. Электронная пушка полностью автоматизирована. При изменении ускоряющего напряжения не требуется каких-либо дополнительных настроек. Благодаря уникальной конденсорной линзе с переменным фокусным расстоянием, разработанной фирмой JEOL, фокусировка и положение поля зрения даже на очень больших увеличениях поддерживаются неизменным.
Низковакуумная модель РЭМ JSM-6610LV имеет, в дополнение к обычному, высоковауумному, низковакуумный режим работы. В таком режиме можно изучать непроводящие образцы безо всякого препарирования, а затем проанализировать их с помощью энергодисперсионного спектрометра.
Эвцентрический столик образца не меняет поле зрения (точку интереса) и фокусировку при вращении и наклоне образца. Столик предназначен для наблюдения особенностей строения поверхности образцов, в том числе, под разными углами. Вы можете измерять все три измерения, и глубину, в том числе, образца и строить трехмерные изображения, путём получения серий стереоизображений. Качество стереоизображений напрямую зависит от того, насколько точно сохраняется исходное положение образца при его вращении и наклоне.
Использование энергодисперсионного рентгеновского спектрометра (EDS) обеспечивает мгновенный элементный анализ поверхности образца с точностью 0.1 %. Энергетический спектр эмитированного рентгеновского излучения дает количественный элементный состав.
Принцип работы
Раздел не заполнен
Методики
- Определение морфологии в режиме топографического контраста вторичных электронов;
- Определение морфологии в режиме топографического контраста отраженных электронов;
- Определение морфологии в режиме композиционного контраста отраженных электронов;
- Определение морфологии в режиме теневого контраста отраженных электронов;
- Стереоскопическое изображение, 3D;
- Измерение расстояний между микро- и нано-объектами;
- Определение морфологии при помощи напыляющего устройства;
- Элементный анализ произвольной области, с «точки»;
- Элементный анализ прямоугольной или круглой области;
- Профиль – содержание элементов вдоль прямой;
- Картирование – пространственное распределение элементов;
Основные характеристики
- Пространственное разрешение 3 нм (30 kV, HV);
- Ускоряющее напряжение от 0,3кВ до 30 кВ;
- Диапазон увеличений от х5 до х300 000;
- Максимальный размер образца 200 мм, 1000г;
- Режимы работы Высокий вакуум (HV), низкий вакуум (LV);
- Виды изображений вторичные электроны: топографический контраст; отражённые электроны: композиционный, топографический, теневой контрасты.;
- Катод Термоэлектронная эмиссия, W ;
- Столик образцов эвцентрический моторизация до 5 осей с компьютерным управлением диапазон перемещений: Х – 125 мм, Y – 100 мм, Z – от 5 до 80 мм. наклон: от -10 до +90 градусов, вращение 360 градусов.;
- Опции Энергодисперсионный анализатор (X-Max Silicon Drift Detector 150mm2), комплекс для напыления на препараты токопроводящих пленок (Pt) JEOL JFC-1600 Auto Fine Coater.;
Требования к образцам
Раздел не заполнен
Полученные в РЦН изображения
Раздел не заполнен
Заказ исследований