Региональный центр нанотехнологий

Комплексные исследования перспективных материалов

Оборудование

Список оборудования

 

1. Аналитическое оборудование

1.1 Сканирующий зондовый микроскоп SmartSPM.
1.2 СЗМ с конфокальным рамановским и флюоресцентным спектрометром OmegaScope.
1.3 ИК-Фурье спектрометр Nicolet iS50.
1.4 Сканирующий электронный микроскоп JEOL 6610LV.
1.5 Рентгеновский порошковый дифрактометр GBC EMMA.
1.6 Дифрактометр малоуглового рентгеновского рассеяния.
1.7 Спектрофотометр CФ-2000.
1.8 Машина трения МТУ-01.
1.9 Весы аналитические Qhaus Instruments Co: Ltd.
1.10 Голографический микроскоп Lyncee tec.
1.11 Универсальный двухканальный спектральный эллипсометр ES-2LED.
1.12 Четырехзондовый метод измерения сопротивлений для АСМ.


2. Электроизмерительное оборудование

2.1 Осцилографы Tektronix 1001A и 2022C.
2.2 LCR метр LCR – 7821.
2.3 Генератор SFG-2110.
2.4 Блоки питания (GWINSTEK GPS-2303) 2х36В, 300В.
2.5 Пикоамперметр Keithley 6487.


3. Технологическое оборудование

3.1 Система Ленгмюра-Блоджетт.
3.2 Установка магнетронного напыления МВУ ТМ Магна.
3.3 Установка по синтезу углеродных нанотрубок.


4. Оборудование для пробоподготовки

4.1 Нанесение токопроводящих покрытий JEOL JFC-1600.
4.2 Полуавтоматический однодисковый шлифовально-полировальный станок Buehler Vector LC.
4.3 Центрифуга MiniSpin plus, Eppendorf.
4.3 Ванна ультразвуковая QUICK 218-35.
4.4 Ультразвуковой технологический диспергатор "Волна" УЗТА -0.4/22-ОМ.
4.5 Пресс лабораторный гидравлический ПГР-10.
4.6 Станок токарный малогабаритный Калибр СТМ-250.
4.7 Фрезерно-сверлильный станок JET JMD 1JE50000020M.

 

Установка магнетронного напыления МВУ ТМ Магна Т

 МВУ ТМ Магна Т

МАЛОГАБАРИТНАЯ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ.

 

НАЗНАЧЕНИЕ:

Нанесение плёнок металлов (Cu, Cr, Al, др.) и диэлектриков (SiO2 ,Si3N4, др.) методом магнетронного распыления.

ОСОБЕННОСТИ

  •   Последовательная обработка подложек в одном технологическом цикле:
  •  60×48 мм — 6 шт. — двухсторонняя обработка.
  •  30×48 мм — 12 шт. — двухсторонняя обработка.
  • Откачка реактора до предельного разряжения 5 10-4Па
  •  Распыление дисковой мишени в плазме магнетронного разряда.
  •  Подготовка поверхности подложек – нагрев и ионная очистка.
  •  Автоматизированное управление от микропроцессора.
  •  Малогабаритная безмасляная вакуумная система откачки.
  •  Автономная система водяного охлаждения.
 
 
Атомно-силовые изображения поверхностей пленок из: Cr и Ni при 500°С; а также  Cu при 320°С

     

Доступ к оборудованию

 

  • Центр коллективного пользования (ЦКП) осуществляет прием от заинтересованных пользователей заявок на проведение научных исследований и оказание услуг с использованием оборудования ЦКП (далее - заявки). Форма заявки находится на портале Регионального центра нанотехнологий (далее РЦН) в разделе «Оборудование» - «Заказ исследований». Заявка должна содержать в том числе: информацию о заявителе (Ф.И.О., организация, структурное подразделение, электронный адрес, телефон); описание работ (описание исследования, необходимое оборудование, количество образцов).
  • Перечень типовых услуг ЦКП, используемое оборудование, примерный шаблон договора на проведение научных исследований и оказание услуг, форма заявки публикуются на официальном сайте РЦН www.nano.kursk.ru.
  • Прием, регистрацию, обработку, хранение заявок, результаты их рассмотрения и выполнения рекомендуется осуществлять в электронном виде с использованием автоматизированных систем, позволяющих учитывать временную загрузку объектов приборной базы, задействованных в оказании услуг.
  • Заявки рассматриваются директором РЦН по мере их поступления в течение установленного периода времени с момента регистрации заявки (5-10 дней) либо с установленной периодичностью (1 раз в 2 недели, 1 раз в месяц и др.).
  • РЦН вправе устанавливать порядок рассмотрения заявок, включая содержательную часть работы, степень соответствия заявки возможностям оборудования ЦКП, времени работы оборудования. По результатам рассмотрения заявок директор РЦН принимает решение о возможности заключения с пользователем договора на проведение научных работ и оказание услуги и включает заявку в план работ РЦН. Решение о невозможности заключения договора должно быть мотивированным и доведено до сведения пользователя не позднее трех дней со дня принятия такого решения. Возможность допуска физических лиц - представителей заинтересованного пользователя непосредственно к работе на оборудовании РЦН устанавливается в договоре на оказание услуги.
  • По завершению оказания услуги внешнему пользователю выдается соответствующий документ, содержащий результаты выполненных работ (отчет, протокол испытаний, измерений, материалы на электронных носителях).
  • Оплата услуг для внешних пользователей осуществляется через заключение договора на предоставление услуг или выполнения исследований. Оплата услуг для структурных подразделений Юго-Западного государственного университета осуществляется на основе взаимной договоренности с использованием различных форм внутреннего хозрасчета.

 

Сканирующий электронный микроскоп JEOL 6610LV

Сканирующий электронный микроскоп JEOL 6610LV

Модель и назначение

JEOL JSM-6610 - компактный многоцелевой РЭМ с предельной простотой управления и высоким качеством оптики. Данный микроскоп создан для удовлетворения запросов как самых взыскательных исследователей, так и инженеров, использующих сканирующий электронный микроскоп в качестве средства контроля. Все возможности инструмента доступны даже начинающим пользователям. Интуитивно понятный интерфейс. Все операции по управлению микроскопом могут выполняться с помощью мышки и дополнительного выносного пульта. Многопользовательская система. С помощью новой системы сканирования можно работать на очень малых увеличениях. Электронная пушка полностью автоматизирована. При изменении ускоряющего напряжения не требуется каких-либо дополнительных настроек. Благодаря уникальной конденсорной линзе с переменным фокусным расстоянием, разработанной фирмой JEOL, фокусировка и положение поля зрения даже на очень больших увеличениях поддерживаются неизменным.
Низковакуумная модель РЭМ JSM-6610LV имеет, в дополнение к обычному, высоковауумному, низковакуумный режим работы. В таком режиме можно изучать непроводящие образцы безо всякого препарирования, а затем проанализировать их с помощью энергодисперсионного спектрометра.
Эвцентрический столик образца не меняет поле зрения (точку интереса) и фокусировку при вращении и наклоне образца. Столик предназначен для наблюдения особенностей строения поверхности образцов, в том числе, под разными углами. Вы можете измерять все три измерения, и глубину, в том числе, образца и строить трехмерные изображения, путём получения серий стереоизображений. Качество стереоизображений напрямую зависит от того, насколько точно сохраняется исходное положение образца при его вращении и наклоне.
Использование энергодисперсионного рентгеновского спектрометра (EDS) обеспечивает мгновенный элементный анализ поверхности образца с точностью 0.1 %. Энергетический спектр эмитированного рентгеновского излучения дает количественный элементный состав.


Принцип работы

Раздел не заполнен


Методики

  • Определение морфологии в режиме топографического контраста вторичных электронов;
  • Определение морфологии в режиме топографического контраста отраженных электронов;
  • Определение морфологии в режиме композиционного контраста отраженных электронов;
  • Определение морфологии в режиме теневого контраста отраженных электронов;
  • Стереоскопическое изображение, 3D;
  • Измерение расстояний между микро- и нано-объектами;
  • Определение морфологии при помощи напыляющего устройства;
  • Элементный анализ произвольной области, с «точки»;
  • Элементный анализ прямоугольной или круглой области;
  • Профиль – содержание элементов вдоль прямой;
  • Картирование – пространственное распределение элементов;

Основные характеристики

  • Пространственное разрешение 3 нм (30 kV, HV);
  • Ускоряющее напряжение от 0,3кВ до 30 кВ;
  • Диапазон увеличений от х5 до х300 000;
  • Максимальный размер образца 200 мм, 1000г;
  • Режимы работы Высокий вакуум (HV), низкий вакуум (LV);
  • Виды изображений вторичные электроны: топографический контраст; отражённые электроны: композиционный, топографический, теневой контрасты.;
  • Катод Термоэлектронная эмиссия, W ;
  • Столик образцов эвцентрический моторизация до 5 осей с компьютерным управлением диапазон перемещений: Х – 125 мм, Y – 100 мм, Z – от 5 до 80 мм. наклон: от -10 до +90 градусов, вращение 360 градусов.;
  • Опции Энергодисперсионный анализатор (X-Max Silicon Drift Detector 150mm2), комплекс для напыления на препараты токопроводящих пленок (Pt) JEOL JFC-1600 Auto Fine Coater.;

Требования к образцам

Раздел не заполнен


Полученные в РЦН изображения

Раздел не заполнен

Заказ исследований

 

 

 
 

Исследовательское оборудование

Стоимость заказа: 0 руб.