Наноструктурирование тугоплавких оксидов при лазерной абляции
РЕШАЕМАЯ ПРОБЛЕМА
Технология нанесения наноструктурированных покрытий из тугоплавких окислов.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ
Покрытия из тугоплавких оксидов, в частности диоксида циркония, обладающего полиморфизмом (существование многих кристаллических фаз в зависимости от температуры) ограничивает области их применения. Предлагается технология лазерной абляции диоксида циркония, позволяющая получать устойчивые, с высокой сплошностью нанокластеры с кубическим упорядочением на металлических и неметаллических поверхностях.
ПРЕИМУЩЕСТВО ПЕРЕД АНАЛОГАМИ
• в отличие от применяемых технологий кубическое упорядочение диоксида циркония достигается без применения редкоземельных добавок;
• технология отличается низкой энергоемкостью (мощность, потребляемая не более 2 кВт) и высокой эффективностью;
• получаемые металлокерамические покрытия обладают высокой адгезией с основой;
• достигнуто кубическое упорядочение диоксида циркония на поверхности монокристаллического кремния, что перспективно для разработки новых элементов для микроэлектроники с повышенными эксплуатационными характеристиками;
• технология отвечает самым высоким требованиям по экологической безопасности.
Нанокластеры из ZrO2 на монокристаллическом кремнии