Региональный центр нанотехнологий

Модель и назначение

Спектральный эллипсометр ES-2LED с бинарной модуляцией состояния поляризации используется для определения оптических параметров материалов, толщины оптически прозрачных и полупрозрачных слоев в многослойных структурах, качества обработки и шероховатости поверхностей. В приборе используются оригинальные поляризационные устройства и экспрессные алгоритмы измерений. 

Принцип работы

Принцип  действия спектрального эллипсометра ES-2LED основан на переключении состояния поляризации, при этом на исследуемый попеременно направляется пучек монохроматического света, преобразуюущийся  в последовательность ортогонально поляризованных пучков с азимутальными линейной поляризации P и P+90 градусов. Отраженное от образца излучение с двумя состояниями поляризации попадает на фотоприемники и анализируется электронной системой регистрации элипсометрических параметров. Отсутствие движущихся поляризационных элементов в спектральном эллепсометре ES-2LED позволяет улучшить достоверность и прецезионность измеряемых параметров.

Методики

• Определение показателя преломления и поглощения (оптических постоянных) материалов (в твердом и жидком состояниях);
• Измерение толщин пленок и толщин слоев в тонкопленочных структурах (металлы, полупроводники и диэлектрики; твердые и жидкие пленки, до 8 различных слоев).
•  

Основные характеристики

• Спектральный диапазон длин волн: 270-1000 нм;
• Спектральное разрешение: 2,5 - 4 нм в зависимости от установленной входной щели монохроматора;
• Воспроизводимость и стабильность при измерении:
• эллипсометрических параметров Гамма и Дельта без микроприставки в диапазоне длин волн 400-1000 нм не хуже 0,01⁰,
• толщины - не хуже 0,1 нм,
• показатель преломления - 0,005.
• Диапазон устанавливаемых углов падения: 45⁰ - 90⁰ с интервалом 5⁰
• Диапазон измеряемых толщин: 0,1 нм - 5мкм
• Диаметр светового луча: 3 мм (200 мкм с микроприставкой)
• Типичное время измерений на одной длине волны: 0,5-2 сек
• Дискретность измерений - до 400 точек на спектр

Требования к образцам

• Максимальная величина неровностей на образце - 100 мкм;
• толщина образца - до 5 см;
• Оптически прозрачные образцы

Полученные в РЦН изображения